在热处理过程中，精密模具常常会产生变形，为了预防这种不好的现象，只要把握其变形规律，分析其产生的原因，采用不同的方法进行预防模具的变形是能够减少的，也是能够控制的。一般来说，对精密复杂模具的热处理变形可采取以下方法预防。

（１）公道选材。对精密复杂模具应选择材质好的微变形模具钢（如空淬钢），对碳化物偏析严峻的模具钢应进行公道铸造并进行，对较大和无法铸造模具钢可进行固溶双细化热处理。　　　　

（２）模具结构设计要公道，厚薄不要太悬殊，外形要对称，对于变形较大模具要把握变形规律，预留加工余量，对于大型、精密复杂模具可采用组合结构。

（３）精密复杂模具要进行预先热处理，消除机械加工过程中产生的残余应力。　　

（４）公道选择加热温度，控制加热速度，对于精密复杂模具可采取缓慢加热、预热和其他均衡加热的方法来减少模具热处理变形。

（５）在保证模具硬度的条件下，尽量采用预冷、分级冷却淬火或温淬火工艺。

（６）对精密复杂模具，在前提许可的情况下，尽量采用真空加热淬火和淬火后的深冷处理。

（７）对一些精密复杂的模具可采用预先热处理、时效热处理、调质氮化热处理来控制模具的精度。

（８）在修补模具砂眼、气孔、磨损等缺陷时，选用冷焊机等热影响小的修复设备以避免修补过程中变形的产生。

热处理工艺操作有许多方法，具体包括如堵孔、绑孔、机械固定、相宜的加热方法、准确选择模具的冷却方向和在冷却介质中的运动方向等，公道的回火热处理工艺也是减少精密复杂模具变形的有效措施。